硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器

• 作者: 张君娜 梁庭 雷程 赵珠杰 齐蕾
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 还原氧化石墨烯 叉指电极 滴涂法 温度传感器 测试
• 年，卷（期）: 2021,（23）
• 所属期刊栏目: 理论与算法|Theory and Algorithms
• 页码范围: 68-72
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.19651/j.cnki.emt.2107755

摘要

为了解决传统的铂电阻、金属等温度传感器灵敏度不高及性能不稳定的问题,选用新型纳米材料还原氧化石墨烯为温敏材料,利用mems工艺制备了叉指电极热敏电阻,通过滴涂法将还原氧化石墨烯与叉指电极有效组装起来,制备了一种硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器,对还原氧化石墨烯形貌进行了扫描电子显微镜(SEM)表征,并搭建了测试系统对性能进行了测试.结果表明,从30℃～210℃范围内,传感器的电阻随温度的上升而下降,传感器的灵敏度约为85.977 19 Ω/℃,线性度高达0.980 49,同时具有极小的迟滞性和良好的稳定性.