串联超导量子干涉器件阵列制备与测试分析

• 作者: 梁恬恬 张国峰 伍文涛 倪志 王永良 应利良 伍俊 荣亮亮 彭炜 高波
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 超导量子干涉器件 磁通噪声 超导制备工艺
• 年，卷（期）: 2021,（17）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域|INTERDISCIPLINARY PHYSICS AND RELATED AREAS OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
• 页码范围: 318-323
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.70.20210467

摘要

串联超导量子干涉器件(superconducting quantum interference device,SQUID)阵列通过增加SQUID数量来达到提升信噪比的目的,即SQUID电压信号随SQUID数目比例增加而总电压噪声正比于SQUID数目的平方根值.本文介绍了利用自主工艺线进行串联SQUID阵列研究的相关研究进展,实现了SQUID数量分别为200和800的阵列集成,测试得到磁通噪声达到(0.5μΦ0/√Hz)和输入电流灵敏度35μA/Φ0,等效输入电流噪声达到(18pA/√Hz).另外,还给出了阵列参数与集成SQUID数量的关系,验证了设计可靠性和工艺一致性.