单片式湿法刻蚀均匀性及药液回收率的相关性研究

• 作者: 朴勇男 黄鹏 胡苏 邢栗
• 来源期刊: 科学技术创新
• 关键词: 单片式湿法刻蚀 刻蚀均匀性 刻蚀药液回收率
• 年，卷（期）: 2021,（13）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1328.2021.13.011

摘要

湿法刻蚀是通过使用化学药液与被刻蚀物质反应,达到转移掩膜图形的目的.本文采用单片式湿法刻蚀机在不同条件下实验,测试刻蚀均匀性及刻蚀药液的回收率.结果表面刻蚀机的摆臂Scan速度及摆臂Scan时的起始位置对晶圆刻蚀均匀性有较大影响,喷淋时的转速对刻蚀药液的回收率具有重要作用,一定程度的提高喷淋时的转速能够有效的提高刻蚀药液的回收率.