多层微图案成像特性的研究

• 作者: 莫之畅 魏劲松 曹清
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 成像系统 光刻技术 多层成像 微图案 成像分析 文档备份
• 年，卷（期）: 2021,（20）
• 所属期刊栏目: 成像系统|Imaging Systems
• 页码范围: 36-45
• 页数: 10页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202141.2011001

摘要

研究了多层微图案的成像特性,将基于光刻技术制作的微米级和高透光微图案附着在透明玻璃基板上,这种带有图案的玻璃基板堆叠约50层后能由光学显微镜进行多层成像,最终的成像质量呈上层清楚下层模糊的特点.通过光场分析排除邻近层的串扰和照明对成像结果的影响,通过研究玻璃基片的厚度、层数,分析了像差对成像结果的影响,并定量分析了层间反射作为主要噪声在成像物场上的分布.最后,提出了一种优化方案,采用降低界面反射,增进噪声吸收及图像处理的方式提高信噪比,恢复底层不清晰图案.该研究可对日益增长的文档等信息进行备份存放和成像观察,有效提高了空间利用率.