一种电解法清洗硅片的设计

• 作者: 乔旭 马帅 张亮 王超 付苗苗
• 来源期刊: 技术与市场
• 关键词: 半导体设备 硅片清洗 电解方法
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 创新与实践
• 页码范围: 41-42
• 页数: 2页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8554.2021.08.014

摘要

结合西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司的生产实际,介绍、设计了一套通过电解的方式清洗半导体芯片在扩散过程中产生的磷硅、硼硅玻璃杂质,为半导体芯片清洗提供一个方法和思路.