三维数值模拟射频热等离子体的物理场分布

• 作者: 朱海龙 李雪迎 童洪辉
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 温度场 流场 电磁场 射频热等离子体 三维数值模拟
• 年，卷（期）: 2021,（15）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理|PHYSICS OF GASES, PLASMAS, AND ELECTRIC DISCHARGES
• 页码范围: 201-213
• 页数: 13页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.70.20202135

摘要

射频热等离子体的产生包含了丰富、复杂的物理场分布, 正确认识这些物理场分布对射频热等离子体在工业领域的应用有指导作用. 本文建立了三维射频热等离子体的热-电-磁-流动强耦合数学物理模型, 考虑了感应线圈的真实螺线管结构, 开发了用于计算三维射频热等离子体复杂电磁场的C++程序代码, 计算了射频热等离子体重要物理场, 如温度场、流场和电磁场的分布情况. 结果表明, 射频热等离子体各物理场分布具有三维非对称效应, 感应线圈结构对温度场和流场的空间分布有重要影响. 研究结果对优化、控制射频热等离子体的实际应用过程有重要的指导意义.