PPB级高纯氮生产的工艺设计及其技术特点分析

• 作者: 王开兵 邓韬 许高坡 李伟 胡雪沁
• 来源期刊: 广州化工
• 关键词: 高纯氮 冷冻制氮 吸附 纯化 工艺设计
• 年，卷（期）: 2021,（10）
• 所属期刊栏目: 生产技术
• 页码范围: 137-139
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9677.2021.10.047

摘要

随着互联网时代的到来,电子、多晶硅等行业广泛兴起,高纯气体的需求越来越多,高纯氮气在电子、多晶硅等行业的应用越来越广泛.制取氮气的基本方法是将空气分离,一般利用氮、氧的沸点不同其分离,常用深度冷冻法.随着高纯气体的纯度要求越来越高,对气体中的杂质含量要求越来越严格,常需在制氮之前对原料气设置纯化装置进行纯化.本工艺的目的在于克服现有技术中的不足,提供一种适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置及具有其的纯化器.在实施时,原料空气流经各吸附层后能够实现一次纯化即可有效去除原料空气中的H2 O杂质、CO杂质、CO2杂质,而无需安装后纯化器进行再次纯化.纯化器可实现吸附和解吸之间相互切换,保持吸附活性,以保证吸附效果.