ICP/MS辅助IC测试泰维克纸中磷酸根离子

• 作者: 王敏 张童强 向红
• 来源期刊: 商品与质量
• 关键词: 泰维克纸 成品晶圆 IC、ICP/MS PO4-3
• 年，卷（期）: 2021,（34）
• 所属期刊栏目: 综合实践
• 页码范围: 5-6
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

本文首先介绍了泰维克纸在半导体晶圆运输中的用途，接着介绍了泰维克纸品质控制的检测方法：离子色谱（IC）分析。在测试中发现不同分析设备测试磷酸根（PO4-3）结果差异较大。为了结果准确性，作者通过使用（电感耦合等离子发射光谱）ICP/MS检测PO含量，间接分析出了磷酸根含量，通过再次优化IC分析条件，精确分析出了磷酸根真实含量并对结果做了回收率及结果验证。由此作者提出了ICP/MS辅助IC设备优化分离酸根离子新方法，同时指出了该辅助方法的适用适用条件。