KLA3xx系列机台数据准备扩展系统的设计与实现

• 作者: 陈龙维
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 光掩模缺陷检测 KLA3xx系列机台 DPS数据准备系统 KOP系统 CATS图形图像处理软件 Perl计算机程序语言 Shell计算机程序语言 VNC远程控制
• 年，卷（期）: 2021,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造|Process and Fabrication
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN405|TP311.52
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2021.12.010

摘要

阐述KLA 3xx系列机台可提供光掩模缺陷检测、量测和数据分析处理,能够协助光掩模制造商识别光掩模缺陷和图案位置错误,降低良率风险.由于该系列机台大多是在1990年代中期制造,受计算机操作系统处理能力和硬件空间限制,严重制约了它的产能利用.利用新型IBM服务器硬件性能和Synopsys公司CATS软件技术相结合的应用优势,设计一套独立于3xx系列机台的数据准备扩展系统,通过将处理后的数据导入3xx系列机台直接用于光掩模缺陷检测的方式,可实现对3xx系列机台产能的最大化利用.