n型太阳电池发射极掺杂技术研究

• 作者: 张伟 聂师华
• 来源期刊: 大科技
• 关键词: 扩散 pn结 方块电阻 硼硅玻璃
• 年，卷（期）: 2021,（20）
• 所属期刊栏目: 工艺与设备
• 页码范围: 167-168
• 页数: 2页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文

摘要

在n型太阳电池的制备过程中硼扩散是形成pn结的关键步骤,为解决硼扩散掺杂均匀性差以及硼硅玻璃腐蚀石英器件等问题,本文对BBr3液态源硼扩散进行研究,提出二氯乙烯参与硼扩散的解决措施,以期为相关人员(或工程)提供参考.