真空系统金属合金材料出气对压升率影响

• 作者: 刘云飞 刘宇 乔辉
• 来源期刊: 中国金属通报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空系统 材料出气 压升率 影响
• 年，卷（期）: 2021,（23）
• 所属期刊栏目: 科学技术
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1667.2021.23.021

摘要

目前,随着我国对于真空室洁净度以及真空度的要求不断加大,真空系统金属合金材料出气压升率的影响研究也越来越被人们重视,低压升率意味着处于高真空状态下,低的压升率能够充分保证各金属元器件的使用寿命及其质量,对于真空烘烤炉的发明是该机理的最广泛应用.真空烘烤炉的主要气体来源,来自于炉内高温环境下的金属材料出气,因此,对于真空系统环境金属合金材料出气对于压升率的影响极大.因此,本文旨在研究已经组装成的真空烘烤炉,分析炉内高温状态下金属合金材料出气对于压升率的影响.