控制图在识别TFT-GI层沉积过程波动中的应用

• 作者: 党亮英 包远福 徐习亮 李素哲 王丹 蔡婷 王超
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2021,（22）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

液晶产品的质量会受到关键质量特性的影响,稳定的过程质量特性能提升产品品质.本文讲述了TFT-LCD产品的非金属层GI层的特性,GI层厚度(简称:GI THK)的工艺过程波动,及如何应用控制图精准识别和定位异常波动.分析过程基于流程出发,基于工序特点,通过对大量数据的深入挖掘,充分应用控制图等统计工具进行流程诊断,来达到查找过程波动差异源的目的.