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摘要:
本文基于量产的N型Topcon电池技术,在磷扩散工艺环节对磷扩工艺温度进行调整,研究不同磷扩温度下的磷杂质浓度分布,及其对多晶硅/隧穿氧化硅钝化层的影响.研究结果表明,磷扩散温度适当升高有利于提高钝化效果,但温度过高时,隧穿氧化硅层又会被破坏,导致背面方阻迅速降低,背场钝化作用大幅减弱.在Topcon电池的制作过程中,针对不同的多晶硅层厚度,寻找适当的磷扩散温度有利于提高Topcon电池的转换效率.
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N/P隧穿结
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 磷扩散温度对晶体硅Topcon电池中隧穿钝化层的影响
来源期刊 大科技 学科
关键词 Topcon电池 磷扩散温度 钝化
年,卷(期) 2021,(23) 所属期刊栏目 研究园地
研究方向 页码范围 359-360
页数 2页 分类号 TM914
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
Topcon电池
磷扩散温度
钝化
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期刊影响力
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chi
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