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PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施
PECVD工序硅片上下料时掉片的解决措施
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摘要：
在太阳能电池片的生产工艺流程中,镀膜(PECVD)工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成.通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹,制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施.
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主办单位：
中国电子学会
出版周期：
半月刊
ISSN：
1003-0522
CN：
11-2086/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市
邮发代号：
2-892
创刊时间：
1979
语种：
chi
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