探讨半导体蚀刻机台温湿度监控系统

• 作者: 黎金睿 金景怡
• 来源期刊: 电子世界
• 年，卷（期）: 2021,（24）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 168-169
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

蚀刻技术是指在半导体制造工艺中,在适宜的温、湿度环境下,利用化学溶液或者等离子体,对半导体表面选择性去除的技术.半导体蚀刻机台则是进行蚀刻工艺的设备,为其提供合适的环境.基于此,本文先探讨此类温湿度监控系统必要性,再分析目前国内外研究状况,最后对整个系统进行介绍,以供相关工作人员参考.