多晶硅生产技术中冷氢化的应用探索

• 作者: 张天翔 李小龙 冯茹涛
• 来源期刊: 商品与质量
• 关键词: 多晶硅生产技术 冷氢化 应用探索
• 年，卷（期）: 2021,（18）
• 所属期刊栏目: 技术探索
• 页码范围: 144
• 页数: 1页
• 语种: 中文

摘要

在实际的多晶硅产品生产的过程中,会产生一定数量的SiCL2(STC),并且SiCL4也是多晶硅生产过程中所产生的物质,会对环境产生一定的破坏,针对此种情况,可以通过氢化技术的应用将SiCl4转化成为对环境无害的SiCL2,从而不仅仅使多晶硅的生产过程实现无害化,并且能够使其所产生的物质得到较为充分的应用.笔者将会在本文的论述中,对多晶硅生产技术中冷氢化技术的应用进行探索,简要的阐述冷氢化的技术概念、冷氢化的技术特点以及冷氢化现阶段的发展.希望通过本文的论述,能够为相关行业的从业人员提供一定的帮助与借鉴,促进我国多晶硅生产技术整体的提升.