硅微机械加工与MEMS在体微加工过程中的联合运用

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作者：

胡羽沫

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微电子机械系统

MEMS

微机械加工技术

体微加工

微机电系统

摘要：

本文主要针对体微加工过程中微电子机械系统以及微机械加工技术中的硅微机械加工技术的联合运用进行研究，结合微电子机械系统技术的发展历史，概括了当今硅微机械加工与MEMS加工技术的联合运用的发展方向，进一步地改善了现有的体微加工过程，并探讨了发展方向?

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篇名	硅微机械加工与MEMS在体微加工过程中的联合运用
来源期刊	数字化用户	学科
关键词	微电子机械系统 MEMS 微机械加工技术体微加工微机电系统
年，卷（期）	2021,（46）	所属期刊栏目	技术创新
研究方向		页码范围	108-113
页数	6页	分类号
字数		语种	中文
DOI