ICP设备的使用维护与日常维护

• 作者: 金诚明 黄乐 祝海生
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: ICP设备 使用维护 故障检修
• 年，卷（期）: 2021,（16）
• 所属期刊栏目: 生产管理与维护
• 页码范围: 38-39
• 页数: 2页
• 分类号: TF321
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0711.2021.16.025

摘要

ICP设备作为一种先进的精细加工仪器,被广泛应用在半导体、太阳电池以及LED的芯片加工制作工艺中.在ICP设备日常使用过程中,企业需要安排专业人员加强对其检修维护工作,结合以往经常发生的故障问题展开深入分析,总结原因,并及时采取有效控制解决措施.本文将进一步对ICP设备的使用维护与日常维护展开分析与探讨,旨在为同行业者提供科学参考意见.