某惯性传感器组件抗高过载失效分析及改进

• 作者: 苏亚慧 黄艳辉 王峙卫
• 来源期刊: 弹箭与制导学报
• 关键词: 惯性传感器组件 弹载试验 失效分析 灌封
• 年，卷（期）: 2022,（5）
• 页码范围: 35-38
• 页数: 3页
• 分类号: TJ410.1,TJ410.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.15892/j.cnki.djzdxb.2020.05.009

摘要

某MEMS惯性传感器组件在130 mm弹载试验后出现无输出功能失效,经电性能测试、工艺结构分析、有限元力学仿真等分析。组件的失效主要是由于内部主控板受力不均出现了翘曲变形、断裂,最终导致组件失效。根据失效机理,优化了主控板的版图及灌封工艺方法,使主控板的受力均匀性和一致性得到了控制,从而有效解决了失效问题。