微间距气体放电的实验研究与分析

• 作者: 董克亮 孙岩洲 刘绪光
• 来源期刊: 高压电器
• 关键词: 微间隙 气体放电 击穿电压 Paschen曲线 场致发射
• 年，卷（期）: 2022,（5）
• 所属期刊栏目: 2018高电压与放电等离子体专题
• 页码范围: 29-34
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13296/j.1001-1609.hva.2019.05.005

摘要

为了研究微间距气体放电特性机理，在大气压环境下，采用了精密距离控制仪器进行电极间距为1～100 μm的气体放电实验，得出了电极间距在1～100 μm范围内的击穿电压，绘制了击穿电压曲线并讨论分析了1～5 μm间距下击穿电压背离巴申曲线的原因。运用Fowler⁃Nordheim理论验证了在电极间距小于5 μm 时，气体放电过程由场致电子发射主导，并通过分析1～5 μm间距内场强，进一步说明场致发射在此起主导作用。电极间距在10～15 μm范围内时出现火花放电现象，分析认为该间距下的放电为电子崩引发的微间隙火花放电。电极间距在15～100 μm范围内时击穿电压随着电极间距的增大而逐渐增大，击穿电压曲线与巴申曲线变化趋势相同，可以用汤逊机理解释。