罗茨真空机组预抽阶段的抽气特性比较研究

• 作者: 张世伟 高雷鸣 李润达 满永奎 杜远鹏 王波 许祖近
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 罗茨真空机组 启动预抽 抽速计算 变频
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备|Vacuum Acquisition System
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TB751
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.01.01

摘要

针对罗茨泵真空机组在启动预抽阶段的三种工作模式——旁通式、直通式和变频式,分别建立了简化计算模型,推导得出罗茨泵进入正常稳态工作之前罗茨机组的有效抽速计算公式,以及被抽容器的抽气时间计算方法.通过一个计算示例,对比得出了三种不同启动预抽方式的压力-时间曲线,结果表明,直通式、旁通式、变频式工作模式下容器的抽气时间依次减少,变频启动方式比目前较多采用的直通式启动方式节省抽气时间46.58％.