B2O3对LTPS用基板玻璃结构和黏温性能的影响

• 作者: 杨国洪 孔令歆 曾召 王答成 徐莉华 兰静 郭静
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: LTPS 无碱基板玻璃 B2O3 玻璃结构 黏温性能
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与综述
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TQ171
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2022.02.002

摘要

以LTPS用无碱基板玻璃配比料方,探讨B2O3对无碱硼铝硅酸盐玻璃结构和黏温性能的影响.通过红外光谱和X射线光电子能谱对玻璃试样进行网络结构分析,并测试了玻璃试样的高温黏度、软化点温度、退火点温度和应变点温度.结果表明:B2O3含量较低(0.13％)时,B3+以四配位的[BO4]存在;随着B2O3含量升高,满足[BO4]形成之外的B3+逐渐以[BO3]的形式存在;[BO3]含量增多,玻璃黏度逐渐下降.