应力诱发界面扩散下夹杂演化的有限元模拟

• 作者: 井亚彬 黄佩珍
• 来源期刊: 固体力学学报
• 关键词: 夹杂演化 界面扩散 有限单元法 应力迁移
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文|Research Papers
• 页码范围: 16-27
• 页数: 12页
• 语种: 中文
• DOI: 10.19636/j.cnki.cjsm42-1250/o3.2021.039

摘要

应力作用下内连导线中的夹杂等缺陷会迁移和变形,从而影响电子器件的可靠性.论文基于应力诱发表面扩散机制下的弱解描述,推导了固-固界面在界面扩散机制下的有限单元控制方程,并数值分析了应力诱发界面扩散下金属内连导线中夹杂的形貌演化.研究结果表明:在拉压应力下,夹杂会发生分节或者圆形化;在双向等值拉应力下,夹杂存在着沿长轴生长和圆形化两种分叉趋势.并且存在着临界应力、临界形态比和临界线宽.形态比、应力越小或线宽、模量比越大,夹杂越易演化为圆形.