基于二维声子晶体的体声波谐振器仿真分析

• 作者: 石林豪 轩伟鹏 孙玲玲 董树荣 金浩 骆季奎
• 来源期刊: 物联网学报
• 学科: 工学
• 关键词: 体声波谐振器 高反射率 声子晶体 有限元分析
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 专题:物联终端与芯片|Topic: IoT Terminals and Chips
• 页码范围: 13-19
• 页数: 7页
• 分类号: TN629.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.11959/j.issn.2096−3750.2022.00251

摘要

提出了一种基于声子晶体的新型体声波谐振器结构,利用声子晶体在其带隙范围内对弹性波具有高反射率、低透射率的特点,将声子晶体作为体声波谐振器底部的声反射层.首先计算出了4种不同结构声子晶体的带隙特性,并使用有限元软件COMSOL Multiphysics对基于声子晶体的体声波谐振器结构进行建模仿真,得出了主要结论.当体声波谐振器工作频率在声子晶体带隙范围内时,直接以声子晶体作为体声波谐振器的衬底,仿真得到的阻抗曲线较为平滑,且Q值为858.09,有效机电耦合系数为6.32％.