MEMS电场传感器测试技术研究及进展

• 作者: 雷煜卿 焦飞 张树华 彭国政
• 来源期刊: 高压电器
• 关键词: MEMS传感器 电场传感器 晶圆级测试 器件级测试 电场标定
• 年，卷（期）: 2022,（7）
• 所属期刊栏目: 面向新型电力系统的先进电气装备技术
• 页码范围: 57-63
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13296/j.1001⁃1609.hva.2022.07.008

摘要

传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状，首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点。然后重点阐述现阶段研制MEMS电场传感器的晶圆级测试内容与测试方法、器件级测试内容和测量标定系统。最后分析了国内外MEMS电场传感器测试技术的局限性和发展趋势。在此基础上指出随着国内MEMS电场传感器深入应用，MEMS传感器件测试技术将会迎来快速发展期。