衬底温度对铌薄膜组织结构及界面结合性能的影响

• 作者: 耿娟娟 李争显 王浩楠 吕海兵 张长伟
• 来源期刊: 有色金属工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直流偏压二极溅射 铌薄膜 衬底温度 组织结构 界面结合性能
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 材料制备与加工|Materials Preparing and Processing
• 页码范围: 14-21
• 页数: 8页
• 分类号: TG178
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2022.01.003

摘要

为获得组织结构及界面结合性能优异的铌薄膜,采用直流偏压二极溅射技术在无氧铜表面溅射制备铌薄膜,借助SEM、AFM、XPS、划痕仪等分析衬底温度对膜层组织结构和界面结合能力的影响.结果表明:随衬底温度的提高,铌薄膜表面的颗粒尺寸增大,表面粗糙度由Ra 27.6 nm增加到Ra 65.3 nm,薄膜厚度从2.832μm增加到6.021μm.随衬底温度的提高,氧化现象减弱,衬底温度在400℃ 条件下制备的膜层中氧含量最低,仅占7.47％,膜层中仅有轻微的氧化现象,说明溅射所制备的铌薄膜纯度较高,膜层中的杂质含量少.衬底温度改变时,铌薄膜与基体的界面结合能力没有发生明显的变化,界面结合强度均高于50 N.