2.5D空间光滤波器设计与制备

• 作者: 李攀 郑盼盼 卢宏
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 全息光学 灰度曝光 空间光滤波器
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 光学器件及系统设计|Optical Instrument and Optical Design
• 页码范围: 144-146
• 页数: 3页
• 分类号: TN26
• 语种: 中文

摘要

纯相位迭代全息图可以用来设计空间光滤波器.由于介质与空气存在折射率差,空间光在经过全息干板时,会产生相位变化.文章以每个像素光刻胶的高度调制相位,设计出了 2.5D灰度全息空间光滤波器.文章还利用电子束光刻机进行灰度曝光,制备不同高度的光刻胶,通过干法刻蚀将图案刻蚀到硅片上.对电子束曝光工艺、显影参数、刻蚀工艺等进行了优化,制备出了高衍射效率空间光滤波器,并进行了表征.