光束线超高真空阀多参数状态监测系统设计

• 作者: 刘群 徐帆 汪啸 陈留国 贺博
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空阀 状态监测 故障诊断 实验物理和工业控制系统
• 年，卷（期）: 2022,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 178-184
• 页数: 7页
• 分类号: TP277|TL362.7|TB21
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202108023

摘要

光束线良好的运行状态是用户正常实验和存储环安全运行的重要保障.为提高光束线的关键设备超高真空阀故障的诊断能力与运维水平,在合肥光源现有光束线控制系统的基础上,开展了超高真空阀门的状态监测研究.本文给出了超高真空阀的多参数状态监测实现方法,获取了超高真空阀门开关动作的数据波形,同时在实验物理和工业控制系统(EPICS)平台下建立了阀门的状态数据库,实现了数据的远程共享.