非接触式静电电压测量仪校准方法研究

• 作者: 张时开 张宇青 李玉玲 李俊箫 张琳轶
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 非接触式静电电压测量仪 标准平板电极 不确定度分析
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 量值传递技术
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: O441.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2022.01.05

摘要

根据非接触式静电电压测量仪的工作原理,建立了一套非接触式静电电压测量仪校准系统.重点介绍了校准系统的组成和工作过程,以及决定校准系统测量准确度关键因素的标准平板电极的设计原则,并通过实验数据分析了标准平板电极的直径和边缘效应对测量结果的影响.最后以常用的非接触式静电电压测量仪EST101为例,根据校准装置测量不确定度主要来源,对校准结果进行不确定度分析,验证了此套校准系统满足校准要求.