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摘要:
为了研究精密光学元件表面微弱疵病的散射特性,基于矢量散射理论和双向反射分布函数,建立了光学表面微弱疵病的散射理论模型.通过仿真计算了双向反射分布函数随散射角的变化情况,分析了入射角度、入射光波长以及疵病自身尺寸等因素对疵病散射光特性的影响.基于仿真数据分析,针对光源参数对散射特性的影响进行仿真分析,为使用暗场成像法进行精密表面疵病检测的系统参数选择提供理论参考,疵病检测入射角范围为30°~50.最佳;在可见光范围内时,380~500 nm的波长范围更有利于疵病检测.另外还通过研究疵病尺寸发生改变时散射场变化的规律,为分辨疵病的形状大小等信息提供了参考依据.
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文献信息
篇名 基于BRDF的光学表面疵病散射特性的仿真研究
来源期刊 光学与光电技术 学科 工学
关键词 双向反射分布函数 矢量散射 表面疵病 散射特性 显微暗场成像
年,卷(期) 2022,(2) 所属期刊栏目 光电测量|Opto-Electronic Measurement
研究方向 页码范围 54-60
页数 7页 分类号 TN247
字数 语种 中文
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
双向反射分布函数
矢量散射
表面疵病
散射特性
显微暗场成像
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学与光电技术
双月刊
1672-3392
42-1696/O3
大16开
武汉市阳光大道717号
38-335
2003
chi
出版文献量(篇)
2142
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3
总被引数(次)
9791
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