音叉振动电容式表面电位测量装置设计

• 作者: 于海军 王鹢 赫伟东 孙迎萍 张海燕
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 航空航天
• 关键词: 表面电位测量 传感器设计 音叉 振动电容法 静电场仿真
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 设计研究|Design Studies
• 页码范围: 169-174
• 页数: 6页
• 分类号: V423.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.12126/see.2022.02.008

摘要

文章针对振动电容式表面电位测量传感器核心组件——振动音叉进行详细设计,分析得出适用于电位检测的音叉振动形式,确定出音叉结构参数及驱动方式;进行基于传递函数的传感器灵敏度及精度影响因素分析;提出基于电荷感应与静电场仿真的电位测量装置设计方法,得到的传感器灵敏度与理论计算结果一致,并最终通过样机标定实验验证了传感器设计的正确性.