凝胶聚合法制备氮化铝纳米粉体

• 作者: 刘亚欣 周建民 夏长荣
• 来源期刊: 陶瓷学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝 纳米粉体 凝胶聚合 勃姆石 密胺树脂
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探索|Research and Exploration
• 页码范围: 68-75
• 页数: 8页
• 分类号: TQ174.75
• 语种: 中文
• DOI: 10.13957/j.cnki.tcxb.2022.01.007

摘要

近年来,微电子和半导体技术的飞速发展对器件材料的散热要求越来越高.因具有热导率高等优异性能,AlN引起了广泛关注.以三聚氰胺、甲醛、勃姆石溶胶为起始原料,利用同步的溶胶凝胶转换与高分子聚合过程,使有机高分子的交联网络与无机勃姆石的凝胶网络相互作用缠结,得到碳源(三聚氰胺和甲醛单体)和铝源(勃姆石溶胶粒子)均匀混合的前驱体.该复合体系不仅抑制了铝源的粒子长大,同时也阻碍了氧化铝的相转变,使得氮化反应直接由γ-Al2O3开始,并在1300℃完全氮化为AlN,粒径小于30 nm.此外,该体系的碳热还原氮化反应的活化能仅为126 kJ·mol-1,远小于传统固相法的360 kJ·mol-1,说明该凝胶聚合法有效地提高了反应活性.