热丝CVD法制备金刚石涂层刀具的研究现状

• 作者: 万书宏 林晶 冯帅
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝CVD 硬质合金衬底 金刚石涂层刀具 膜基结合力 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Film
• 页码范围: 40-47
• 页数: 8页
• 分类号: TQ127|TG174.4|TQ163
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.01.08

摘要

金刚石涂层刀具具有优异的硬度、耐磨性及导热性,在军事、航空航天等高精尖应用领域加工石墨、高硅铝合金、碳纤维增强塑料等难切削材料时无可替代,但目前金刚石涂层刀具存在两个问题:一是涂层与刀具间膜基结合力较差,导致涂层在使用中过早脱落;二是涂层表面粗糙度较大,难以保证被加工面的平整度与尺寸精度.本文从增强涂层结合力与降低涂层粗糙度两方面,将近年来科研人员对HFCVD法制备金刚石涂层的研究成果加以综述,并分析了各种因素对金刚石涂层刀具性能的影响.