满足电子枪电场与电子束参数优化的极板个数确定

• 作者: 王玖玖 董全林
• 来源期刊: 航天器环境工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束 电子枪 加速极板 仿真分析
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 设计研究|Design Studies
• 页码范围: 181-186
• 页数: 6页
• 分类号: O463
• 语种: 中文
• DOI: 10.12126/see.2022.02.010

摘要

为保证透射电子显微镜的电子枪输出电子束符合要求,研究极板个数对电子枪电场与电子束的影响.通过计算机建模和仿真分析,探究不同极板个数(N)下的电子加速效果、电场强度及电子束质量.结果表明,在N=6时,电场强度平均值高、均匀度好,电子在相同加速电压作用下具有最高速度,电子束聚焦性能较好.极板个数最佳值的确定,可为电子枪的具体结构设计提供参考和依据.