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微槽激光电解组合微加工研究
微槽激光电解组合微加工研究
作者:
陈扬枝
肖海飞
曾昭呼
肖小平
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微槽
激光烧蚀
微细电解
组合微加工
摘要:
微槽结构作为微型结构的基本单元,具有增加散热面积、存储润滑剂和减少阻力等功能,多用于大热流密度器件的散热或表面润滑,但其存在加工尺寸小、精度要求高以及加工难度大等问题.为了实现微槽的高效高精度加工,提出了一种激光电解组合微加工方法,并搭建了纳秒激光加工装置和数控微细电解加工装置;利用激光烧蚀快速加工出微槽结构的基本形貌,再通过微细电解的方式去除其表面再铸层及飞溅颗粒,提高其表面精度和表面性能.通过理论研究以及优化加工参数试验,加工出长度为400μm,宽度为220μm,深度为120μm的微槽结构.激光电解组合微加工微槽的表面粗糙度由激光加工后的Ra 5.36μm降低至Ra 1.23μm;激光电解组合微加工的加工效率是微细电解加工的4.26倍.
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文献信息
篇名
微槽激光电解组合微加工研究
来源期刊
现代制造工程
学科
工学
关键词
微槽
激光烧蚀
微细电解
组合微加工
年,卷(期)
2022,(1)
所属期刊栏目
制造技术/工艺装备
研究方向
页码范围
72-79
页数
8页
分类号
TG662
字数
语种
中文
DOI
10.16731/j.cnki.1671-3133.2022.01.010
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
(0)
参考文献
(0)
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引证文献
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(0)
二级引证文献
(0)
2022(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
微槽
激光烧蚀
微细电解
组合微加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代制造工程
主办单位:
北京机械工程学会
北京市机械工业局技术开发研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1671-3133
CN:
11-4659/TH
开本:
大16开
出版地:
北京市西城区核桃园西街36号301A
邮发代号:
2-431
创刊时间:
1978
语种:
chi
出版文献量(篇)
9080
总下载数(次)
14
总被引数(次)
50123
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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