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摘要:
微槽结构作为微型结构的基本单元,具有增加散热面积、存储润滑剂和减少阻力等功能,多用于大热流密度器件的散热或表面润滑,但其存在加工尺寸小、精度要求高以及加工难度大等问题.为了实现微槽的高效高精度加工,提出了一种激光电解组合微加工方法,并搭建了纳秒激光加工装置和数控微细电解加工装置;利用激光烧蚀快速加工出微槽结构的基本形貌,再通过微细电解的方式去除其表面再铸层及飞溅颗粒,提高其表面精度和表面性能.通过理论研究以及优化加工参数试验,加工出长度为400μm,宽度为220μm,深度为120μm的微槽结构.激光电解组合微加工微槽的表面粗糙度由激光加工后的Ra 5.36μm降低至Ra 1.23μm;激光电解组合微加工的加工效率是微细电解加工的4.26倍.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微槽激光电解组合微加工研究
来源期刊 现代制造工程 学科 工学
关键词 微槽 激光烧蚀 微细电解 组合微加工
年,卷(期) 2022,(1) 所属期刊栏目 制造技术/工艺装备
研究方向 页码范围 72-79
页数 8页 分类号 TG662
字数 语种 中文
DOI 10.16731/j.cnki.1671-3133.2022.01.010
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研究主题发展历程
节点文献
微槽
激光烧蚀
微细电解
组合微加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代制造工程
月刊
1671-3133
11-4659/TH
大16开
北京市西城区核桃园西街36号301A
2-431
1978
chi
出版文献量(篇)
9080
总下载数(次)
14
总被引数(次)
50123
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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