浸渍阴极的真空预处理技术

• 作者: 刘燕文 孟鸣凤 陆玉新 朱虹 王国建 赵恒邦 王小霞 张志强
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微波电子器件 浸渍阴极 真空蒸发 阴极预处理
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 54-58
• 页数: 5页
• 分类号: TN107
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.01.10

摘要

本文总结了用于真空微波电子器件的浸渍阴极的蒸发规律,通过分析提出了浸渍阴极预处理工艺,建立了超高真空装置.在超高真空环境下,将浸渍阴极灯丝加热,使阴极温度升高到1100～1200℃,保持1～200h(温度和时间依不同微波管型而定).预处理工艺解决了浸渍阴极发射与蒸发的矛盾,现已建立数十台、几十个工位的浸渍阴极预处理设备,大大提高了微波真空电子器件中电子枪的绝缘性能,减小了栅发射.浸渍阴极预处理工艺还可以加速检验热子的可靠性,从而避免微波器件在使用过程中才发现热子短路、热子缺陷及热子焊接点不牢等因素造成热子断路的问题,提高了微波真空电子器件中热子的可靠性.