导模法晶体生长技术研究及应用

• 作者: 王东海 王庆国 李东振 徐晓东 罗平 徐军 薛艳艳 唐慧丽 方恺
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体生长 导模法 蓝宝石晶体 硅晶体
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿导读|Frontier of Science and Technology
• 页码范围: 1-9,14
• 页数: 10页
• 分类号: O782.9
• 语种: 中文
• DOI: 10.19655/j.cnki.1005-4642.2022.01.001

摘要

在人工晶体生长技术中,导模法晶体生长技术具有"近净型"生长、材料利用率高、生长速度快以及易于实现多片晶体同步生长等优点,在晶体生长领域应用广泛,已被用于工业化生产硅、锗晶体和蓝宝石晶体等.介绍了导模法晶体生长技术国内外的研究现状,包括材料特性、生长工艺、应用领域、现存问题以及解决途径等,同时展示了同济大学在导模法生长蓝宝石多片、圆管、大尺寸板材等方面的研究成果,并展望了导模法晶体生长技术未来的发展方向以及在其他晶体材料生长方面的应用.