一种小型真空弧离子源的触发放电结构优化研究

• 作者: 胡圣 郁杰 王亮 李刚
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 沿面放电 触发型真空弧离子源 触发放电
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 测量与控制|Measurement and Control
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: O462.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.02.03

摘要

在对一种小型触发型真空弧离子源的研究过程中发现,稳定的触发过程对真空弧离子源的主弧形成以及后续离子引出过程是至关重要的.传统触发结构为简单的触发极、绝缘体和阴极堆叠而成的"三明治"结构,触发过程为绝缘体表面的沿面放电过程,该结构若要实现稳定的触发需要很苛刻的外加条件.优化触发结构可有效提高离子源工作稳定性,降低电源要求及成本.针对以上情况,文章提出了一种新的触发放电结构,并论证了其触发放电的稳定性.