热阴极电离规灵敏度的数值模拟研究

• 作者: 魏建平 李得天 张虎忠 成永军 姚鹏 马卓娅 葛金国
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电离规 超高真空 灵敏度 真空测量
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 14-19
• 页数: 6页
• 分类号: TB772+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202109011

摘要

本文基于数值模拟和实验方法研究热阴极电离规的计量性能,开展了电极电压和栅网结构对Bayard-Alpert电离规灵敏度的影响研究.研究表明,随着阴极阳极电压差从50 V增加到140 V,灵敏度持续增大,之后缓慢下降,随着栅网丝间距从2 mm增加到3.5mm和丝径从0.4mm减小到0.2mm,灵敏度显著增大.采用正交分析法对电离规的结构和电压参数进行了优化,结果显示,当栅网丝径为0.2rm,丝间距为3.5mm,阳极电压为220V,阴极电压为80V时,热阴极电离规的灵敏度最大,模拟结果为0.184 Pa-1,根据优化和模拟结果进行了实验验证,实验结果为0.196 Pa-1,实验结果与模拟结果具有一致性.