低气压下占空比对细长管空心阴极辉光放电电流的影响

• 作者: 高凯晨 孔维星 巩春志 田修波
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 细长管空心阴极 占空比 等离子体光谱 放电电流
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202107002

摘要

为了在细长管内壁获得性能良好质地均匀的膜层,本文在低气压条件下、采用细长管作真空阴极进行空心阴极辉光等离子体放电.通过研究对多种气氛(纯Ar、纯N2、氮气氩气混合)下平均电流、电流峰值的实时测量对比了不同脉冲占空比条件下等离子体放电流,讨论和分析了多气氛下改变占空比所带来的影响.实验结果显示使用频率为40 kHz的脉冲电源,随着占空比变化,脉冲电流波形有显著变化.不同气氛波形不同,但是峰值均提高,平均电流也都上升,纯Ar气氛从20％占空比提高到70％占空比电流峰值从0.325A上升到了0.5A,平均电流由0.12A上升到了0.28A.测量管内不同位置电流的值,发现管内整体电流均匀性纯Ar和混合气氛优于纯N2,Ar在30％～60％占空比区间内,表征均匀性的参数K30％～60％≈0.12.