涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进

• 作者: 匡永麟 王晓冬 黄海龙 张鹏飞
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 抽气性能 传输几率 数值计算 面积加权法
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: TB752+.27
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202109021

摘要

涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得.本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序.面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算提供了可靠的支撑,为涡轮分子泵设计与性能评估提供了方法与依据.