基于氧化锌的紫外探测器研究进展

• 作者: 况丹 卞曙光 徐爽 刘斌 刘贤文 喻志农
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 紫外探测器 元素掺杂 表面修饰 异质结构造
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 动态综述
• 页码范围: 100-109
• 页数: 10页
• 分类号: TN23
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2021101901

摘要

氧化锌(ZnO)是一种天然的宽禁带半导体材料,其理论上的禁带宽度为3.37 eV,近年来已经成为制备紫外探测器件的热门材料之一.然而,由于ZnO材料的本征缺陷,直接制备的紫外探测器件总是存在响应率低、暗电流大、响应速度慢等问题.为了获得更好的紫外探测性能,各种可行的器件改善和修饰方法被提出.文章从元素掺杂、表面修饰和异质结构造等三个方面评述了提升ZnO紫外探测器件性能的典型方法,分析了这些方法存在的问题,并展望了未来高性能紫外探测器的发展方向.