工艺优先的低成本太赫兹模块研制技术

• 作者: 解启林 王蕤 张弦 刘畅
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: W波段 探针 波形图 T结构
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 综述|TECHNICAL REVIEW
• 页码范围: 68-70,89
• 页数: 4页
• 分类号: TN602
• 语种: 中文
• DOI: 10.14176/j.issn.1001-3474.2022.02.002

摘要

基于探针设计、性能评价和互连方式对模块研制成本的影响,提出了一种W波段单面图形探针设计,在75～110 GHz频带内,实现S11参数小于-20 dB,S21参数小于-0.05 dB;提出了一种利用冷热源响应的波形图的性能优劣评价方法,提高模块的调试效率;还提出了一种传输线T结构设计,实现了在基板与芯片(或基板)拼接缝隙大于30μm的情况下,明显改善了W波段高频传输通道的性能指标.根据仿真数据和实物装配后的性能测试验证结果,实现了低成本高性能的太赫兹模块研制.