氧气流量对于磁过滤阴极真空弧法制备Zr02薄膜特性的影响

• 作者: 郭春刚 张梦迪 英敏菊
• 来源期刊: 北京师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZrO2薄膜 磁过滤阴极真空弧法 O2流量
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 页码范围: 47-51
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.12202/j.0476-0301.2021138

摘要

ZrO2薄膜具有高硬度、高耐磨性等优良特性,在诸多领域具有广泛的应用前景.高品质Zr02薄膜的制备一直是科学家们研究的一个重点和热点问题.本文利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,以金属Zr为阴极,在单晶硅(100)衬底上制备高品质ZrO2薄膜,利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、X射线电子能谱(XPS)和纳米力学探针对薄膜的结构、形貌、成分及其性能进行表征,研究了 O2流量对于ZrO2薄膜的晶体结构、形貌、成分以及力学性能的影响规律,获得了结晶品质良好、表面平滑且硬度较高的ZrO2薄膜.