集成电路制造用制冷机低温泵发展现状

• 作者: 冯欣宇 杨杨
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 低温泵 发展现状
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备|Vacuum Acquisition System
• 页码范围: 42-47
• 页数: 6页
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.02.09

摘要

以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中.近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大.介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状,并对比了不同产品的技术特点.阐述了国产低温泵讲军集成电路制造业的历程与现状.