大功率微波电源的制备研究

• 作者: 王顺山 汪建华 胡益
• 来源期刊: 电视技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控管 单片机 等离子体 微波电源 控制系统
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 器件与设计|PARTS & DESIGN
• 页码范围: 40-45
• 页数: 6页
• 分类号: TU851
• 语种: 中文
• DOI: 10.16280/j.videoe.2022.02.009

摘要

研制并测试一种新型的基于CK-619型连续波磁控管、以ATmega 16L单片机为控制核心的大功率微波电源.与以前的微波电源相比,该电源产生的微波能量主要来自于耦合的大功率微波电场所产生的高压直流电能,由此产生的高功率、高密度的等离子体形状基本可以满足通过化学气相沉积大面积高质量金刚石厚膜的实验和工业要求.通过大量时间研制成功的大功率微波电源,通过了一系列的严格测试,结果表明其完全可以满足实验室和工业对微波电源的实用要求.