氧化锌表面曲率可控纳米周期条纹的飞秒激光制备

• 作者: 罗丞 李奇松 王康 刘一
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 超快激光加工 弯曲周期性纳米条纹 径向偏振光 ZnO晶体
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与应用|DESIGN AND RESEARCH
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2022.02.009

摘要

超快激光在金属、电介质和半导体表面制备周期性纳米结构可以有效地改变材料的物化性质,如光学、电学、亲疏水性等.周期性纳米条纹取向通常依赖于激光的偏振,因此利用径向偏振的飞秒激光能够制备不同弯曲度的周期性纳米条纹.通过分析柱透镜聚焦的径向偏振光光场具有随空间变化的偏振方向,实验上获得了柱透镜聚焦的径向光场在不同位置诱导周期性纳米结构的形貌特征.随后利用5 mm的狭缝分离矢量光场中的各向异性偏振态来获得不同弯曲角度条纹的大面积制备.结果表明,利用这种方法在ZnO表面获得了弯曲可控的深亚波长(190～380 nm)周期条纹结构,并且成功制备了弯曲角度从0°到165°的大面积周期性纳米条纹.