第二十一讲真空卷绕镀膜

• 作者: 张以忱
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 真空技术应用系列讲座
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: O484|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2022.01.16

摘要

(接2021年第6期88页) 3.4 中频磁控卷绕镀膜 中频磁控卷绕镀膜是利用中频磁控溅射技术来实现卷绕镀膜的方法.中频交流磁控溅射通常采用两个尺寸大小和外形相同的靶并排布置或相对摆放,称为孪生靶.将双极脉冲中频电源的二个输出端连接到二个靶上,如图18所示.