感栅位移传感器的模型建立及有限元分析

• 作者: 韦茗中 陈锋 方子祥 张应红 韦俊彦
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 感栅 位移传感器 有限元分析 电涡流
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 理论与算法|The theory and algorithm
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2022.01.009

摘要

栅式结构是大多数位移传感器为了增加传感器量程和提高测量精度而普遍采用的结构.本文提出一种新型的感栅式位移传感器,首先建立传感器线圈的有限元模型,然后对传感器的可行性进行仿真分析.通过参数化方式对传感器进行仿真,得到相应位移数据.再通过位移传感器的驱动电路,对位移传感器进行实验测量.最后将试验结果与仿真数据进行对比,仿真结果与试验结果吻合较好,证明了该感栅式位移传感器模型的正确性.