| 篇名 | In-situ monitoring of dynamic behavior of catalyst materials and reaction intermediates in semiconductor catalytic processes | ||
| 来源期刊 | 半导体学报(英文版) | 学科 | |
| 关键词 | |||
| 年,卷(期) | 2022,(4) | 所属期刊栏目 | REVIEWS |
| 研究方向 | 页码范围 | 49-62 | |
| 页数 | 14页 | 分类号 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | 10.1088/1674-4926/43/4/041104 | ||